MEMS עריכה

  1. Micro Electro Mechanical System‏ (אנגלית)
    מערכות טכנולוגיות בגדלים של מיקרומטר וננומטר.

ראו גם עריכה

קישורים חיצוניים עריכה

  ערך בוויקיפדיה: MEMS